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OLED裝備
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團(tuán)簇式中式蒸鍍機(jī)

產(chǎn)品分類：OLED裝備
點(diǎn)擊次數(shù)：3887
發(fā)布時(shí)間：2019-07-18
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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用范圍：

    

   OLED顯示等行業(yè)的薄膜沉積

 

   

    

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

    多腔室團(tuán)簇分布，中心為傳輸室（TM），四周為工藝室(PM)和基板進(jìn)出室，可在真空中循環(huán)完成有機(jī)物薄膜和電極薄膜的沉積。