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真空鍍膜機(jī)

精密光學(xué)濺射系統(tǒng)

產(chǎn)品分類(lèi)：真空鍍膜機(jī)
點(diǎn)擊次數(shù)：4509
發(fā)布時(shí)間：2019-07-18
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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用范圍：

    

    各種光學(xué)膜：AR/UV/IR截止濾光片、AF、AR膜、硬質(zhì)膜、增強(qiáng)反射膜、帶通濾光片、RGB濾光器、HR膜等;  數(shù)碼產(chǎn)品外殼裝飾鍍膜：如手機(jī)炫光、漸變色鍍膜等   

   

 

   

 

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

    配置不同的靶和電源及膜厚儀可鍍多種膜系，對(duì)金屬、氧化物、化合物及其他高熔點(diǎn)膜材皆可，并可在玻璃表面超硬鍍膜。

   全自動(dòng)裝卸和鍍膜工藝控制，減少人為的誤操作，保證高端產(chǎn)品的高質(zhì)量和一致性，大大提高生產(chǎn)效率和鍍膜產(chǎn)品附加值，為用戶創(chuàng)造最大價(jià)值。

 

 

精密光學(xué)濺射系統(tǒng)參考選型

項(xiàng)目

技術(shù)指標(biāo)

 

型號(hào) 

KOSS-16

KOSS-24

腔體

?1600×H800mm

?2400×H1000mm

工件架轉(zhuǎn)速

0~150RPM（可變）

 

成膜室抽速

3.0×10-3 Pa≤30min

 

極限真空度

8.0×10-5Pa

 

鍍膜系統(tǒng)

DC、MF或RF磁控濺射源+等離子體源

 

濺射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 等

 

膜厚控制

晶控或光控

 

控制系統(tǒng)

工控電腦+觸摸屏