Product type
應(yīng)用范圍:
各種電器和智能終端的外殼,如電腦 、手機(jī)和家電等??慑冎平饘倌?、透明膜、非導(dǎo)膜、電磁屏蔽膜等
產(chǎn)品特點(diǎn):
該設(shè)備配置磁控濺射和電阻蒸發(fā)。鍍膜工藝全自動(dòng)控制,運(yùn)行可靠,合格率高,生產(chǎn)成本低。
磁控濺射鍍膜機(jī)參考選型
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) | ||
型號(hào) | KSL -1200 | KSL- 1600 | KSL -2000 |
腔體 | ?1200×H800mm | ?1600×H1000mm | ?2000×H1200mm |
工件架轉(zhuǎn)速 | 0~60RPM(可變) | ||
成膜室抽速 | 3.0×10-3Pa≤30min | ||
極限真空度 | 8.0×10-5Pa | ||
鍍膜系統(tǒng) | DC、MF或RF磁控濺射源 | ||
濺射靶材 | C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各種化合物等 | ||
膜厚控制 | 晶控或光控 | ||
控制系統(tǒng) | 工控電腦+觸摸屏 |