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真空鍍膜機(jī)

連續(xù)型鍍膜生產(chǎn)線

產(chǎn)品分類：真空鍍膜機(jī)
點(diǎn)擊次數(shù)：3559
發(fā)布時(shí)間：2019-07-18
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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用范圍：

    

   LOW-E、電致變色等建筑玻璃行業(yè)。CIGS、碲化鎘、晶體硅等新能源行業(yè)。平板顯示、觸控面板、手機(jī)前后蓋等消費(fèi)電子行業(yè)。

  

 

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 大面積鍍膜，多室多靶位，靈活性大;

? 磁導(dǎo)向傳輸系統(tǒng)，平穩(wěn)可靠;

? 鍍膜前有離子源對(duì)基片進(jìn)行表面清洗和活化，提高附著力，改善膜層質(zhì)量;

? 真空室加Polycold捕集水蒸汽，提高抽氣能力;

? 便于維修的側(cè)裝分子泵和全開式真空室門;

? 自行開發(fā)的方便的用戶易操作控制軟件;

? 工件架識(shí)別系統(tǒng)運(yùn)用，工藝質(zhì)量有可追溯性;

? 真空室的模塊式設(shè)計(jì)，單點(diǎn)定位，便于拆裝。 

連續(xù)型鍍膜線參考選型

 

項(xiàng)目

技術(shù)指標(biāo)

極限真空度

8.0×10-4Pa

基片尺寸

不限

鍍膜系統(tǒng)

DC、MF或RF磁控濺射源 ；PECVD

濺射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各種化合物等

生產(chǎn)節(jié)拍

30秒---180秒

控制系統(tǒng)

工控電腦+觸摸屏